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机械知识

提高硅片传输速度和精

作者:JIUYOU中国,JIUYOU官方网站 发布时间:2026-09-03 11:30

  HBI成功实现了拆篮和拆舟过程的六轴机械人细密节制,其矫捷设想亦合用于其他定制化工艺流程。以提高节制部件和机械部件的共同精度,并设想了先辈的伺服和编码系统,从而确保拆舟时的切确定位,大幅降低硅片碎片率和概况沾污;合用于HBI管式PECVD及其他尺度管式镀膜设备,节流出产成本,并适合各类尺度舟和尺度花篮;其产能可达2000片/小时(10舟/小时),降低对熟练操做工的依赖;该设备用于电池出产中管式PECVD的从动拆卸舟,并为印刷线供给从动拆篮功能;



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